AUTEC-1000-CX metallurgical Scanning System（定位识别镜检机/金相扫描显微系统）
参数：光学系统，XY轴移动范围：100X100mm（可定制），单向重复定位≤±1.0um，Z轴重复定位≤±0.5um，
步进电机、防蠕动导轨（注：XY轴可升级为光栅尺定位，双向重复定位精度≤±1um、可增加机械手自动上下料、
软件可实现线宽测量、切割道测量等，可利用深度学习自动识别需要测量的标志点、输出测量结果、NG片报警
※可实现片源坐标与AOI坐标对应，指定坐标晶粒可检索到AOI判定结果BY不同产品
※实现按区域移动检测（如16区检测等）、按设定坐标区域检测；
※回查历史图片中指定晶粒，显微镜载台自动移到对应位置区域
※输入坐标，显微镜载台自动移到对应位置区域
※按设定图片保存格式，拍照留底时可同时对已保存图片进行浏览；
※物镜转换 电动物镜转换
※对焦：自动对焦&手动对焦
※载台适用 FOR 4&6&8&12寸晶圆正背检验，镂空+真空吸附&载台防静电
※载台移动 自动&手动移动
※物镜：5X\10X\20X\50X/100X
